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隨著科技的不斷進(jìn)步,氣相沉積爐技術(shù)也在持續(xù)發(fā)展創(chuàng)新。一方面,為了滿足各行業(yè)對(duì)薄膜質(zhì)量和性能的更高要求,沉積工藝不斷優(yōu)化。例如,通過(guò)改進(jìn)氣體流量控制、溫度均勻性控...
現(xiàn)在很多大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究院都在采用氣相沉積爐,與其他沉積方法相比,氣相沉積爐除了具有設(shè)備操作簡(jiǎn)單、維護(hù)方便、靈活性強(qiáng)外,還具有以下一系列的優(yōu)點(diǎn):(1)在中溫和高...
硅碳負(fù)極包覆設(shè)備是我廠專項(xiàng)研發(fā)的一款設(shè)備,主要用于生產(chǎn)外熱式氣氛保護(hù)回轉(zhuǎn)爐鋰電池正負(fù)極材料:如磷酸鐵鋰、錳酸鋰、鈷酸鋰、三元、石墨負(fù)極等煅燒。稀土材料:如稀土拋...
磷酸鐵鋰煅燒爐是運(yùn)用比較多的一種窯爐設(shè)備,就技術(shù)性能而言,通道式窯爐采用的是常規(guī)意義的靜態(tài)堆放式煅燒,由于物料堆積,其在煅燒過(guò)程中存在易夾生、反應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)、揮發(fā)物...
硅碳負(fù)極包覆設(shè)備主要用于生產(chǎn)硅碳復(fù)合負(fù)極材料(硅基材料)和高鎳三元材料,作為未來(lái)高容量鋰離子電池負(fù)極材料的新寵,這兩種材料得到了廣泛的應(yīng)用。作為電池材料專用設(shè)備...
氣相沉積爐是利用中頻感應(yīng)加熱的高溫?zé)Y(jié)設(shè)備,氣相沉積爐CVD是Chemical Vapor Deposition的簡(jiǎn)稱,是指高溫下的氣相反應(yīng),例如,金屬鹵化物、...