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      新聞詳情

      氣相沉積爐有什么作用

      時(shí)間:2025/7/17 10:14:00 來(lái)源:http://www.xiala8.com/news1077109.html


      氣相沉積技術(shù)是一種發(fā)展迅速

      、應(yīng)用廣泛的表面成膜技術(shù)
      ,它不僅可以用來(lái)制備各種特殊力學(xué)性能(如超硬
      、高耐蝕
      、耐熱和抗氧化等)的薄膜涂層,而且還可以用來(lái)制備各種功能薄膜材料利裝飾薄膜涂層等

      氣相沉積爐的作用是在高溫下氣相反應(yīng)

      ,例如,金屬鹵化物
      、有機(jī)金屬
      、碳?xì)浠衔锏鹊臒岱纸猓瑲溥€原或使它的混合氣體在高溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以析出金屬
      、氧化物
      、碳化物等無(wú)機(jī)材料的方法
      。這種技術(shù)較初是作為涂層的手段而開(kāi)發(fā)的,但目前