氣相沉積爐是一種化工設備，咸陽陶瓷研究設計院有限公司從事該窯爐生產多年?；瘜W氣相沉積（CVD）爐技術主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質、在襯底表面上進行化學反應生成薄膜的方法?；瘜W氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來的制備無機材料的新技術?；瘜W氣相淀積法已經廣泛用于提純物質、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，而且它們的物理功能可以通過氣相摻雜的淀積過程精確控制。
化學氣相沉積技術是應用氣態(tài)物質在固體上闡述化學反應并產生固態(tài)沉積物的一種工藝，它大致包含三步：
1）形成揮發(fā)性物質；
2）把上述物質轉移至沉積區(qū)域；
3）在固體上產生化學反應并產生固態(tài)物質。
