咸陽(yáng)科源新材裝備有限公司為您主要提供磷酸鐵鋰煅燒爐

    
    
    
      
        
      
            
      
                
                
      
                    
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                                13992091608
                            
      
                            
      聯(lián)系人：賈軍
      
                            
      郵箱：source@sinokiln.com
      
                            
      電話：029-33579267
      
                            
      地址：陜西省咸陽(yáng)市秦都區(qū)玉泉西路210號(hào)
      
                        
      
                    
      
                
      
            
      
            
      
                
                
      
                    
      關(guān)于氣相沉積爐的應(yīng)用
      
                    
       時(shí)間：2021/8/16 17:23:00 來(lái)源：http://www.xiala8.com/news666112.html 
      
                
      
                
      
                    
      隨著科技的發(fā)展傳統(tǒng)的難熔金屬制備方式成本較高
      ，氣相沉積爐如果將氣體引入到室內(nèi)
        ，室內(nèi)的襯底表面就會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)
      ，對(duì)化學(xué)相沉積爐有了全新的要求
      ，氣相沉積爐技術(shù)在鋰電子電池材料也可以應(yīng)用
      ，借助氣相沉積爐本身易重現(xiàn)和覆蓋性等特點(diǎn)
      ，以下是有關(guān)氣相沉積爐的使用：
      1、為氣相沉積爐主體內(nèi)有加熱室
      ，水冷電極
      ，測(cè)溫?zé)犭娕?div   id="4qifd00"   class="flower right">
      ，是處理工件的核心部分?/p>
      2、為混氣罐
      ，由1只電動(dòng)蝶閥
      、2只浮子流量計(jì)和4只不銹鋼手動(dòng)截止閥組成，負(fù)責(zé)氬氣和丙烷的混氣配比
      ，以及向沉積爐內(nèi)定量輸送工作氣體
      。
      3、2臺(tái)滑閥泵負(fù)責(zé)爐內(nèi)空氣及工作廢氣的排除
      ，使?fàn)t子工作在恒定的壓力范圍之內(nèi)
      。
      4、過(guò)濾罐2臺(tái)負(fù)責(zé)滑閥泵前級(jí)的粉塵排除
      。
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      、真空電動(dòng)蝶閥2臺(tái)在滑閥泵工作過(guò)程中，通過(guò)調(diào)節(jié)閥的開度
      ，從而可以調(diào)節(jié)泵的抽速
      。
      6、加熱磁性調(diào)壓器
      ，3臺(tái)獨(dú)立工作
      ，完成爐溫的控制。

      
                
      
                
                
                
      
                
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